压力控制器SC308
扩散硅压力传感器工作原理
扩散硅压力传感器的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的测量。
扩散硅压力传感器的特点
1、适合制作小量程的传感器
硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区,制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。
2、输出灵敏度高
硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的灵敏度就很高,一般量程输出为100mv左右。因此对接口电路无特殊要求,使用比较方便。
3、精度高
由于传感器的感受、转换和检测三部分由同一个元件实现,没有中间转换环节,重复性和迟滞误差较小。由于单晶硅本身刚度很大,变形很小,保证了良好的线性。
4、由于工作单性形变低至微应变数量级,弹性芯片大位移在亚微米数量级,因而无磨损,无疲劳,无老化,寿命长达1×103压力循环,性能,可靠性高。
5、由于硅的优良化学防腐性能,即使是非隔离型的扩散硅压力传感器,也有相当程度的适应各种介质的能力。
6、由于芯片采用集成工艺,又无传动部件,因此体积小,重量轻。
压力控制器SC308
扩散硅压力传感器的性能参数
测量介质:与316L不锈钢兼容的各种、气体或蒸汽
量程范围:-100 kPa~0~2kPa…60MPa
压力:表压、绝压、密封压
恒压供电:推荐10VDC,大15VDC
恒流供电:推荐1.5mA,大4mA
桥路电阻:4000Ω(典型值)
综合精度:0.1%FS,0.3%FS,0.5%FS可选
温度漂移:0.02%FS/℃
时间漂移:≤0.2%FS/年
补偿温度:0~80℃
介质温度:-40~125℃
温度:-40~85℃。
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